屏蔽螺釘是離子注（zhù）入機離子源的（de）重要組件。不同粒子注入機廠家的屏蔽螺釘有（yǒu）不同的形狀和規格。我公（gōng）司可根據客戶圖紙加工成型。由於我們生產加工屏蔽螺釘所需的鎢鉬原材料，所（suǒ）以（yǐ）除屏蔽螺釘尺（chǐ）寸精度外，產品性能（néng）可以得到保障。
根據不同廠家設計，屏蔽螺釘可能由鎢材（cái）質或鉬材質製成。
離子注入是（shì）現代集成電路製造中的一種非常重要的技術，其利用離子注入機實現半導體的摻雜，即使用鎢絲作為陰極發射電子轟擊含有（yǒu）特定的（de）雜質元素的氣體分子，產生電離（lí）的特定雜質原（yuán）子經靜電場加速後打到（dào）矽單晶圓片表麵，並打入半導體內部（bù），改（gǎi）變導電特性並*終（zhōng）形（xíng）成晶體管結構。
由於在離子源發生的（de）電子轉換為電漿離子時（shí），會產（chǎn）生2000℃以上的工（gōng）作溫度（dù），離子束噴發時，也會（huì）產生很（hěn）大的離（lí）子動能，一（yī）般金屬會很快燒熔，因此需要（yào）質量密度較大的惰性金屬，以維（wéi）持離（lí）子束噴發方向，並增加組件耐用度，鎢鉬是必選材料。由於鎢（wū）鉬材料高溫化學（xué）性質穩定、熱變形小和使用壽命（mìng）長等優點，因此半導體行業離子注入機弧光反應腔零（líng）組件及耗件（jiàn）多采用鎢、鉬材料製（zhì）造，這些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射麵板、中心固定杆、起弧室內的絲極板等，我（wǒ）們統稱（chēng）為離子注入用鎢零件和離子注入用鉬零件。
離（lí）子注入用鎢鉬零件所（suǒ）用材料經過對傳統鎢鉬材料工藝（yì）進行優化，包括細晶化、合金化處理，真（zhēn）空燒結和熱等靜壓燒結致密化，二次（cì）晶粒細化控軋技（jì）術，普遍提高傳統鎢鉬材料的壽命、耐高溫（wēn）及抗蠕變性能。
我公（gōng）司生（shēng）產的離子注入用（yòng）鎢鉬（mù）零（líng）件（jiàn）晶粒度細化，相對密（mì）度≥99%，高（gāo）溫力學性能指標比普（pǔ）通鎢鉬材料（liào）明顯提高，使用壽命也明顯延長。