離子注入用鉬零件根據（jù）客戶（hù）圖紙洛陽（yáng）愛科麥鎢鉬科技股份有限公司

如果您對該產（chǎn）品感興趣（qù）的話，可以
產品名稱（chēng）：離子注入用鉬零件
產品型號：根（gēn）據客戶圖紙
產品展商：ACHEMETAL
產品文檔：無相關文檔

簡單介紹

洛陽愛科麥難熔金屬有限公司擁有車、銑、刨、磨、電加工、加工中心等各種設備，可按用戶要求加工各種（zhǒng）離子注入用鎢零件和離子（zǐ）注入用鉬零件（包含高溫鉬和TZM）。我公司加工製作的離子注入用鉬零件具有密度（dù）高，純度高，尺寸精度好的（de）特點。

產品描（miáo）述

離子注入是現代集成電路製（zhì）造中的一種非常重要的技術，其利用離子注入（rù）機實現半導體的摻雜，即使用鎢絲作為陰極發射電子轟擊（jī）含有特定的（de）雜質元素的氣體分子，產生電離的特定雜質原子經靜（jìng）電場加速後打到矽單晶圓片表麵，並打入半導體內部，改變導電特性並*終形成晶體管結構。

由於在離子源轉換為電漿離子時，會產生2000℃以上的工作溫度，離子束噴發時，也會（huì）產生很大的離子動能，一（yī）般金屬（shǔ）會很快燒（shāo）熔，因此需要質量密度較大的（de）惰性（xìng）金屬，以維持（chí）離子束（shù）噴發方向，並增加組件耐用度，鎢鉬是必選材料（liào）。由（yóu）於鎢鉬材（cái）料高溫化學性質穩定、熱變形小和使用壽命長等優點，因此（cǐ）半導體行業離子注（zhù）入機離（lí）子（zǐ）源組件及耗件多采用（yòng）鎢、鉬材料製造，這些器（qì）件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射麵板、中心固（gù）定杆、起（qǐ）弧（hú）室內的絲極板（bǎn）等，我們統稱為離子注入用（yòng）鎢零件和離子注（zhù）入用鉬零件。

離子注入用鉬零件所用材（cái）料經（jīng）過對傳統鎢鉬材料工（gōng）藝進行（háng）優化，包括（kuò）細晶化、合金化（huà）處理，真空燒（shāo）結和熱等靜（jìng）壓燒結致密化，二次晶粒細（xì）化控軋技術，普遍提高傳統鎢鉬材料的壽命、耐高溫及抗蠕變性能。

我公司生產的離子注入用鉬零件晶粒度細化，相對密度≥99%，高溫力學性能指標比普通鉬材料明（míng）顯提高，使用壽命也（yě）明顯延長。