濺(jiàn)射是一種先進的薄膜材料製備技術, 它利用離子源產生的離子, 在真空(kōng)中加速聚集成高速離子流, 轟(hōng)擊固體表麵, 離子和固體(tǐ)表麵的原子發生動能交換, 使(shǐ)固體表麵(miàn)的原子離開靶材並沉積在基材表麵, 從而形成納(nà)米或微米薄膜。而被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原(yuán)材料, 稱為濺射靶材。鎢靶材和鉬靶材可在各類基材上形成薄膜, 這種濺射膜廣泛用作(zuò)電子部件和電(diàn)子產品, 如目前廣泛應用的TFT - LCD ( 薄(báo)膜半導體管-液晶顯示器)、等離子顯示(shì)屏、無機光發射二極管顯示器(qì)、場發射顯示器、薄膜太(tài)陽能電池、傳感(gǎn)器(qì)、半導體裝置(zhì)以及具有可調諧功函數CMOS(互補金屬氧化物半導體)的場效應晶(jīng)體管柵極等 。
近年來,作為LCD(液晶(jīng)顯示)、PDP(等(děng)離子顯示)等平(píng)麵顯示器(qì)的(de)電極和配線材料的鉬係合金靶越來越(yuè)受到人們的(de)關注。在TFt-LCD中,柵電極是一個關鍵部(bù)件,以前主要是用Cr/A1作為柵(shān)電極材料,隨著平麵顯(xiǎn)示器的大型化和高(gāo)精度化,對材料的(de)比阻抗(kàng)要求越來越高,鉬的比阻抗和膜應力僅為鉻(gè)的1/2,同時,由於鉻在蝕刻過程中(zhōng)會產生六價態Cr,對環(huán)境和健康有害,因此現在越來越多的公司改用(yòng)Mo/A1作為柵電極材料,這樣對鉬靶材的需求也就(jiù)越來越大。在鉬靶材的應用中,鉬合金的研究也越來越多,為進一(yī)步提高純鉬(mù)在耐腐蝕性(xìng)(變色)和密著(zhe)性(膜的剝離),在鉬中添加V、Nb、W、Ta則會使比電阻、應力及耐蝕性等各種性能更好。其中鉬铌靶(bǎ)材和鉬鉭靶材已(yǐ)得到了廣泛使用。
鉬鉭靶材批量應用於液晶麵板的濺射(shè)比(bǐ)鉬铌靶材晚,擁有比鉬铌靶材更優的特性。
我(wǒ)公(gōng)司可生產鉭含量為2%-10%的鉬鉭靶材
我公司生產的大尺寸(cùn)鉬鉭靶材密度可達9.9g/cm³
愛(ài)科麥生(shēng)產的(de)鉬鉭靶材晶粒度細、組織均勻、雜質含量底、電阻率適合濺射使(shǐ)用。
衡量靶材的質量主要因素(sù)有 純度、致密度、晶粒尺寸及分(fèn)布等。在這些方(fāng)麵,愛科麥投入(rù)了大量的資金和精力進行研發並取(qǔ)得了顯著成效。並(bìng)形(xíng)成了具有以下特點的(de)生產工藝(1)選擇高純鉬粉作為原料; ( 2)獨有的成形燒結技術, 以保證靶材的(de)低孔隙率, 並控製晶粒度; ( 3)製備過程嚴格控製雜(zá)質元素的引入。(4)大尺寸鎢鉬材料的細晶軋製技術。(5)對部分(fèn)高要求產品采用熱等靜壓方法,*大程度(dù)地獲得了靶(bǎ)材的良好性能。
此(cǐ)外,愛科麥(mài)生產近期致力於以下產品(pǐn)的研發並取得了突破:
1.產品大型化 生產出(chū)了單(dān)張尺寸規格為1 430mm *1 700mm *10 mm適合於G5代TFT鍍膜設備的鉬及鉬(mù)鉭靶材。對於更大的產品減少了拚接的數量。
2.為適應市場提(tí)高靶材利用率需求(qiú),正(zhèng)在研發製造長度超過3米的燒結(jié)旋轉靶材,此種方法生產的鉬靶材與噴塗法相比,具有(yǒu)質密的優勢。
3.新興的鎢鈦靶材的研製