洛陽愛科(kē)麥(mài)鎢(wū)鉬科技股份有(yǒu)限公司

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鎢坩(gān)堝,鎢片(piàn),鉬靶,藍寶(bǎo)石晶體生長爐熱場,鎢鉬合金(jīn),鎢(wū)棒,鎢板,鉬片,鉬杆,鎢鉬靶材(cái)

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離子注入用鎢零件

離子注入用鎢零件
  • 如果您對該產品感興趣的話,可以
  • 產品名稱:離子注入用鎢零件
  • 產品型號(hào):根據客戶(hù)圖紙
  • 產品展商:ACHEMETAL
  • 產品(pǐn)文檔:無相關文檔
簡單介紹

洛陽愛科麥難熔(róng)金(jīn)屬有(yǒu)限公司擁(yōng)有車、銑、刨(páo)、磨(mó)、電加工、加工中心等(děng)各種設備,可按用戶要求加工各種離子注入用鎢零件和離子(zǐ)注入用鉬零件(包含高溫鉬和TZM)。我公司加工製(zhì)作的離子注入用鎢零件具有密度高,純度高,尺寸精度好(hǎo)的特點。

產品描述


離子注入是現代集成電路製造中的一種非常重要的技術,其利用離子注入機實現半導體的摻雜,即使用鎢絲作為陰極發射電子轟擊含有特定的雜質元素的氣體分子(zǐ),產生電離的特定(dìng)雜質原子經靜電場加速後打到矽單晶圓片表麵,並打入半導體內部,改變導電特性並*終形成晶體管結構。

 

由於在離(lí)子轉換為電漿離子時,會(huì)產生2000℃以上的工作溫度,離子(zǐ)束噴發時,也會產(chǎn)生(shēng)很大的離子動能,一般金屬會很快燒熔,因此需要質量(liàng)密度較大的惰性金屬,以維持離(lí)子束噴發方向,並增加組件耐用度,鎢鉬是必選材料。由於鎢鉬材料(liào)高溫化學性(xìng)質穩定、熱變形(xíng)小和使用壽命長等優點,因此半(bàn)導體行業離(lí)子注入機(jī)離子源件及(jí)耗件多采用鎢、鉬材料(liào)製造,這些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射麵板、中心固定(dìng)杆、起弧室內的絲極板(bǎn)等,我們統(tǒng)稱為離子注入(rù)用鎢零件和離子注入用鉬零件

 

離子注入(rù)用鎢零件所用材料經過對傳統鎢(wū)鉬材料工藝進行優化,包括細晶(jīng)化、合金化(huà)處理(lǐ),真空燒結和熱等(děng)靜壓燒結致密化,二次晶粒細化控軋(zhá)技術,普遍提高(gāo)傳統鎢鉬材料的壽命、耐高溫及抗蠕變性能

 

我公司生(shēng)產的離子(zǐ)注入用鎢零件晶粒度細化,相對密度≥99%高溫力學性能(néng)指標(biāo)比普通鎢材(cái)料明顯提高使用壽命也明顯延長(zhǎng)

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