簡單介紹
洛陽愛科麥難熔(róng)金(jīn)屬有(yǒu)限公司擁(yōng)有車、銑、刨(páo)、磨(mó)、電加工、加工中心等(děng)各種設備,可按用戶要求加工各種離子注入用鎢零件和離子(zǐ)注入用鉬零件(包含高溫鉬和TZM)。我公司加工製(zhì)作的離子注入用鎢零件具有密度高,純度高,尺寸精度好(hǎo)的特點。
產品描述
離子注入是現代集成電路製造中的一種非常重要的技術,其利用離子注入機實現半導體的摻雜,即使用鎢絲作為陰極發射電子轟擊含有特定的雜質元素的氣體分子(zǐ),產生電離的特定(dìng)雜質原子經靜電場加速後打到矽單晶圓片表麵,並打入半導體內部,改變導電特性並*終形成晶體管結構。
由於在離(lí)子源轉換為電漿離子時,會(huì)產生2000℃以上的工作溫度,離子(zǐ)束噴發時,也會產(chǎn)生(shēng)很大的離子動能,一般金屬會很快燒熔,因此需要質量(liàng)密度較大的惰性金屬,以維持離(lí)子束噴發方向,並增加組件耐用度,鎢鉬是必選材料。由於鎢鉬材料(liào)高溫化學性(xìng)質穩定、熱變形(xíng)小和使用壽命長等優點,因此半(bàn)導體行業離(lí)子注入機(jī)離子源件及(jí)耗件多采用鎢、鉬材料(liào)製造,這些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射麵板、中心固定(dìng)杆、起弧室內的絲極板(bǎn)等,我們統(tǒng)稱為離子注入(rù)用鎢零件和離子注入用鉬零件。
離子注入(rù)用鎢零件所用材料經過對傳統鎢(wū)鉬材料工藝進行優化,包括細晶(jīng)化、合金化(huà)處理(lǐ),真空燒結和熱等(děng)靜壓燒結致密化,二次晶粒細化控軋(zhá)技術,普遍提高(gāo)傳統鎢鉬材料的壽命、耐高溫及抗蠕變性能。
我公司生(shēng)產的離子(zǐ)注入用鎢零件晶粒度細化,相對密度≥99%,高溫力學性能(néng)指標(biāo)比普通鎢材(cái)料明顯提高,使用壽命也明顯延長(zhǎng)。
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100%
好評(píng)度
買家印(yìn)象:
- 性能好(hǎo)(4)
- 服務周到(3)
- 產品質量好(2)
- 產品好(2)
- 質量好(2)
- 強度高(2)
- 材(cái)料好(hǎo)(1)
- 報價便宜(1)
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